公开/公告号WO2020041441A1
专利类型
公开/公告日2020-02-27
原文格式PDF
申请/专利号WO2019US47458
发明设计人 BANDARAPU BHASKAR;LOIDL BERNHARD;MUI DAVID;HOHENWARTER KARL-HEINZ;BERNEY BUTCH;LAVDOVSKY NATHAN;PUTZI CHRISTIAN;SI HONGBO;JOHNSON ROBERT;KLEMM MICHAEL;
申请日2019-08-21
分类号H01L21/67;H01L21/687;H01L21/02;C23C16/44;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 11:13:13