公开/公告号RU2717359C1
专利类型
公开/公告日2020-03-23
原文格式PDF
申请/专利号RU20190127570
发明设计人 SHVETS VASILIJ ALEKSANDROVICH (RU);MIKHAJLOV NIKOLAJ NIKOLAEVICH (RU);DVORETSKIJ SERGEJ ALEKSEEVICH (RU);IKUSOV DANIL GENNADEVICH (RU);UZHAKOV IVAN NIKOLAEVICH (RU);
申请日2019-08-30
分类号G01N21/17;H01L21/66;B82B3;
国家 RU
入库时间 2022-08-21 11:02:34