MICRO-CLAPET ANTI-RETOUR ET SYSTÈME COMPRENANT PLUSIEURS MICRO-CLAPETS ANTI-RETOUR ET PROCÉDÉ POUR LA FABRICATION DE CES DERNIERS

摘要

Die Erfindung betrifft ein Mikrorückschlagventil (10) mit einem Substratkörper (12) mit einer Oberseite (16) und einer Unterseite (14), wobei zumindest die Oberseite (16) einen Dichtungssteg (34) zwischen einer ersten Wanne (30) und einer zweiten Wanne (32) aufweist. Außerdem weist der Substratkörper (12) einen Kanal (24) auf, der von der Unterseite (14) des Substratkörpers (12) zur Oberseite (16) des Substratkörpers (12) führt und auf der Oberseite (16) des Substratkörpers (12) in der ersten Wanne (30) endet. Ferner ist auf der Oberseite (16) des Substratkörpers (12) eine Membran (18) angeordnet, die zumindest im Bereich des Dichtungsstegs (34) und der ersten und zweiten Wanne (30, 32) flexibel gelagert ist. Die Membran (18) weist außerdem mindestens einen Durchbruch (42) auf, der oberhalb der zweiten Wanne (32) angeordnet ist. Ferner betrifft die Erfindung ein System mit mehreren Mikrorückschlagventilen (10) sowie ein Verfahren zu deren Herstellung.