公开/公告号CN101867155B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-07-04
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN200910081987.3
申请日2009-04-15
分类号H01S5/30(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人周国城
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 09:10:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-06-01
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01S 5/30 授权公告日:20120704 终止日期:20150415 申请日:20090415
专利权的终止
2012-07-04
授权
授权
2010-12-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 5/30 申请日:20090415
实质审查的生效
2010-10-20
公开
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