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非极性(Al,B,In,Ga)N量子阱

摘要

本发明公开一种制作非极性a-平面GaN/(Al,B,In,Ga)N多量子阱(MQW)的方法。a-平面MQW通过有机金属化学气相沉积(MOCVD)在适当的GaN/蓝宝石模板层上生长,阱宽度范围介于20至70之间。来自a-平面MQW的室温光致发光(PL)发射能量遵循一使用自相容泊松薛定谔(self-consistent Poisson-Schrodinger,SCPS)计算来建模的方阱趋势。在a-平面MQW的量子阱宽度为52时获得最佳PL发射强度。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-01-26

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/00 授权公告日:20120704 终止日期:20161211 申请日:20031211

    专利权的终止

  • 2013-12-11

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/00 变更前: 变更后: 登记生效日:20131120 申请日:20031211

    专利申请权、专利权的转移

  • 2013-12-11

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/00 变更前: 变更后: 登记生效日:20131120 申请日:20031211

    专利申请权、专利权的转移

  • 2012-07-04

    授权

    授权

  • 2012-07-04

    授权

    授权

  • 2007-03-07

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-03-07

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-01-10

    公开

    公开

  • 2007-01-10

    公开

    公开

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