公开/公告号CN101479661B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-06-06
原文格式PDF
申请/专利权人 艾格瑞系统有限公司;
申请/专利号CN200680009268.5
申请日2006-03-23
分类号G03F7/00(20060101);G03F7/20(20060101);
代理机构11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人付建军
地址 美国宾夕法尼亚
入库时间 2022-08-23 09:09:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/00 授权公告日:20120606 终止日期:20170323 申请日:20060323
专利权的终止
2016-10-12
专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/00 登记生效日:20160914 变更前: 变更后: 申请日:20060323
专利申请权、专利权的转移
2016-10-12
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/00 变更前: 变更后: 申请日:20060323
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-10-12
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/00 变更前: 变更后: 申请日:20060323
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-10-12
专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/00 登记生效日:20160914 变更前: 变更后: 申请日:20060323
专利申请权、专利权的转移
2015-07-01
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/00 变更前: 变更后: 申请日:20060323
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2015-07-01
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/00 变更前: 变更后: 申请日:20060323
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2012-06-06
授权
授权
2012-06-06
授权
授权
2009-09-02
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-09-02
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-07-08
公开
公开
2009-07-08
公开
公开
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机译: 利用压印光刻和直接写入技术制造器件的方法
机译: 使用光压印光刻技术制造双镶嵌结构的方法,用于双金属镶嵌结构的压印光刻模具的制造方法,用于压印电介质的材料以及用于双金属镶嵌图案化的光压印光刻设备
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