首页> 中国专利> 利用压印光刻和直接写入技术制造器件的方法

利用压印光刻和直接写入技术制造器件的方法

摘要

本发明提供一种制造方法以及制造集成电路的方法。除其它步骤外,该制造方法可以包括利用压印光刻在衬底上形成一个或多个第一类型的器件,而且利用直接写入技术在该衬底上形成一个或多个第二类型的器件。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-04-17

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/00 授权公告日:20120606 终止日期:20170323 申请日:20060323

    专利权的终止

  • 2016-10-12

    专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/00 登记生效日:20160914 变更前: 变更后: 申请日:20060323

    专利申请权、专利权的转移

  • 2016-10-12

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/00 变更前: 变更后: 申请日:20060323

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2016-10-12

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/00 变更前: 变更后: 申请日:20060323

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2016-10-12

    专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/00 登记生效日:20160914 变更前: 变更后: 申请日:20060323

    专利申请权、专利权的转移

  • 2015-07-01

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/00 变更前: 变更后: 申请日:20060323

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2015-07-01

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/00 变更前: 变更后: 申请日:20060323

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2012-06-06

    授权

    授权

  • 2012-06-06

    授权

    授权

  • 2009-09-02

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-09-02

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-07-08

    公开

    公开

  • 2009-07-08

    公开

    公开

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