用于加工和观测样品的设备以及加工和观测截面的方法

摘要

用于加工和观测样品的设备，包含：样品板，在样品板上要放置样品；第一离子束透镜镜筒，能够同时在整个预定照射范围上照射第一离子束；掩模，能够被设置在样品板和第一离子束透镜镜筒之间，并且遮蔽第一离子束的一部分；掩模移动装置，能够移动掩模；带电粒子束透镜镜筒，能够在第一离子束照射的范围内扫描聚焦的带电粒子束；以及检测装置，能够检测二次生成物质。