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具有大动态范围和高分辨率的光谱测量方法

摘要

一种具有大动态范围和高分辨率的光谱测量方法,包括:将可调谐激光器,被测光器件和光谱仪依次连接;设置可调谐激光器的波长扫描范围,步长以及每个波长的保持时间,设置光谱仪的波长范围,分辨率和扫描时间;进行第一次扫描,获得被测光器件的整体光谱图;选择所需测量光谱的细节处,以细节处的起始和终止波长来设置可调谐激光器的波长扫描范围,降低可调谐激光器的步长至所需要的分辨率,选取细节处的中间波长作为光谱仪的中心波长,并适当设置光谱仪的分辨率;进行第二次扫描,从光谱仪中记录可调谐激光器每个波长对应的光功率值;建立直角坐标系,以可调谐激光器扫描过的波长为横轴,以光功率为纵轴,逐点绘出每个波长对应的光功率,即可得到细节处的光谱信息。

著录项

  • 公开/公告号CN101893507B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-02-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;

    申请/专利号CN200910084160.8

  • 发明设计人 徐团伟;李芳;刘育梁;

    申请日2009-05-20

  • 分类号

  • 代理机构中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人汤保平

  • 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

  • 入库时间 2022-08-23 09:08:55

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-07-06

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01M 11/02 授权公告日:20120208 终止日期:20150520 申请日:20090520

    专利权的终止

  • 2012-02-08

    授权

    授权

  • 2011-01-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 11/02 申请日:20090520

    实质审查的生效

  • 2010-11-24

    公开

    公开

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