公开/公告号CN101893507B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-02-08
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN200910084160.8
申请日2009-05-20
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人汤保平
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 09:08:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-07-06
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01M 11/02 授权公告日:20120208 终止日期:20150520 申请日:20090520
专利权的终止
2012-02-08
授权
授权
2011-01-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 11/02 申请日:20090520
实质审查的生效
2010-11-24
公开
公开
机译: 具有大动态测量范围的波前测量系统及测量方法
机译: 具有多个波长范围的光谱仪,用于高分辨率拉曼光谱
机译: 光谱具有多种波长范围,可实现高分辨率拉曼光谱