液态金属离子源、二次离子质谱仪、二次离子质谱分析方法及其应用

摘要

本发明涉及一种液态金属离子源、二次质谱仪以及相应的分析方法及其应用。特别涉及根据所述温和SIMS(G-SIMS)方法的质谱方法。为此目的，所使用的液态金属离子源一方面包含具有原子量≥190U的第一金属，另一方面包含具有原子量≤90U的另一金属。根据本发明，对于G-SIMS方法来说，两种离子类型中的一种被交替从一次离子束中过滤出来并且作为纯质量一次离子束直射到目标上。