公开/公告号CN101222814B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-07-27
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料股份有限公司;
申请/专利号CN200710301837.X
申请日2007-12-18
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:07:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-02-08
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H05H 1/10 授权公告日:20110727 终止日期:20151218 申请日:20071218
专利权的终止
2012-02-15
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H05H 1/10 变更前: 变更后: 申请日:20071218
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2011-07-27
授权
授权
2008-09-10
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-07-16
公开
公开
机译: 在磁场增强的等离子体反应器中成形磁场的方法和装置
机译: 在磁场增强的等离子体反应器中成形磁场的方法
机译: 在磁场增强的等离子体反应器中成形磁场的方法和装置