公开/公告号CN101573664B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-07-20
原文格式PDF
申请/专利权人 格罗方德半导体公司;
申请/专利号CN200780042929.9
申请日2007-11-29
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构11314 北京戈程知识产权代理有限公司;
代理人程伟;王锦阳
地址 英属开曼群岛大开曼岛
入库时间 2022-08-23 09:07:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-07-20
授权
授权
2010-08-25
专利申请权的转移 IPC(主分类):G03F 7/20 变更前: 变更后: 登记生效日:20100715 申请日:20071129
专利申请权、专利权的转移
2009-12-30
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-11-04
公开
公开
机译: 检测半导体制造过程中不希望存在的粒子的方法和系统
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