表面波激发等离子体产生装置以及表面波激发等离子体处理装置

摘要

本发明可有效地产生表面波激发等离子体。表面波激发等离子体产生装置(10)包括环状导波管(2)以及电介质管(3)。环状导波管(2)包括导入口(2a)、终端板(2b)以及底板(2c)，其中，所述导入口(2a)用来导入微波(M)，所述终端板(2b)用来反射被导入的在管内传播的微波(M)，所述底板(2c)上以预定的间隔形成有槽孔天线(2d)。当微波(M)的管内波长为λg时，将从底板(2c)上的位置(b)开始经过位置(c、d、e)直到位置(f)为止的长度，即，环状导波管(2)的周长π×D1设为2λg，并且位置(b、c、d、e、f)之间隔开λg/2的间隔。由于槽孔天线(2d)配置在位置(c)及位置(e)两处，因此所述2个槽孔天线(2d)的间隔等于管内波长λg。