IC塑封模内压力监测控制产品质量的方法及其设备

摘要

本发明涉及半导体器件领域，具体地是一种IC塑封模内压力监测控制产品质量方法及其设备，包括模具调试阶段的工艺数据采集、分析和优化、设定功能的实现过程及产品生产阶段的工艺监控功能的实现过程，其特征在于所述模具调试阶段和产品生产阶段中的工艺数据为每个模内型腔压力传感器测得的实际型腔压力值；本发明有益效果：将高精度压力传感器技术与计算机技术结合在一起，将其应用到IC塑封工艺中直接监测每个塑封型腔中压力的变化，弥补了以往只能通过控制液压系统压力来间接控制型腔压力的不足，可以大大改善塑封工艺控制的精度，降低众多型腔间熔料压力的不平衡程度，减小对金丝和芯片的冲击，减少产品内应力，提高产品使用寿命和合格率。