多晶硅提纯方法及用于多晶硅提纯的坩埚、提纯设备

摘要

一种多晶硅提纯方法，包括步骤：在坩埚中使含有杂质的低纯度的多晶硅保持熔融态一定时间；通过环绕设置在坩埚臂周围的感应线圈与坩埚的相对移动使所述熔融态的多晶硅液体从底部开始向顶部逐渐冷却凝固；从坩埚中提取冷却凝固后的所述多晶硅，通过机械切除获得提纯后的所述多晶硅。本发明还公开了一种用于多晶硅提纯的坩埚及具有该坩埚的提纯设备。本发明的多晶硅提纯方法及设备，具有可操作性强，成本低，提纯过程中无二次污染等优点。