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双识别码验证系统以及切换双识别码验证系统的方法

摘要

一种切换双识别码验证系统的方法,于一符合国际半导体设备暨材料协会(SEMI)的E87标准的机台上整合第二套晶片盒识别码系统。一第一识别存取系统已内建于机台中,在该机台安装一第二识别存取系统,利用一控制流程在第一识别存取系统与一第二识别存取系统间切换,接着透过所选择的系统取得晶片盒识别码。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2010-04-21

    授权

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  • 2005-05-11

    实质审查的生效

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  • 2005-03-09

    公开

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