用于大规模电感耦合等离子体源的紧凑、分布式感应元件

摘要

一种感应耦合等离子体源，设置有紧凑的感应元件(20)，感应元件(20)被构造成产生特别适合于加工大规模晶片(14)的空间分布的等离子体(15)。一种优选实施方式的元件(20)由片材形成，以实现紧凑并易于构造。元件(20)位于加工室(12)的电介质壁或窗口(16)之外，与电介质壁或窗口大致一致，由一个或多个层或回路(40)形成。导体提供围绕每个回路的传导路径，每个回路具有使绕每个回路的路径大于元件(20)的圆周的蜿蜒或振荡构造。该路径是通过沿元件的侧边缘的切口(30)来形成的。导体由大和小宽高比的交替部分(31-35)形成，其中宽高比被定义为横跨路径的宽度与片的厚度的比。这些部分也由片中的切口限定。较窄的部分集中电流，具有较高感应系数，将较大量的能量耦合到室中，使得产生离散的等离子体浓度环。可以通过构造感应元件的一个或多个回路使得较高感应系数、较低宽高比的部分位于离室的轴的合适半径处来产生一个或多个环。