校准装置和校准装置的原点返回方法、包括校准装置的转动台板、平移台板、机械以及机械控制系统

摘要

提供了一种旋转台板的校准装置，其通过平移驱动能够在XYθ、Yθ、或θ精确地操作台板。用于驱动安装有目标物(5)的台板(4)的4件驱动系统包括平移自由度部分(11)、平移驱动部分(12)、以及旋转自由度部分(13)，此外，通过在机械固定装置(41)处提供电机(1)和检测装置(2)，由机械固定装置(41)使用第一定位装置及第二定位装置、和第一位置固定装置及第二位置固定装置精确地固定台板(4)，并且将检测装置参考位置存储在检测装置参考位置存储装置(44)处，使校准装置能够返回到原点。