超小型垂直腔表面发射激光器(VCSEL)的发射器结构以及包括该发射器结构的阵列

摘要

一种激光二极管包括具有下布拉格反射器层、有源区和上布拉格反射器层的半导体结构。上布拉格反射器层包括激光孔，该激光孔具有垂直于有源区的表面定向的光轴。有源区包含第一材料，并且下布拉格反射器层包含第二材料，其中第一材料和第二材料的相应晶格结构彼此独立。还讨论了相关的激光器阵列和制造方法。