从具有流量控制装置的气体供给设备向容器分流地供给气体的气体分流供给装置及气体分流供给方法

摘要

设计为从具有流量控制装置的气体供给设备正确且迅速地以规定的流量比Q₁/Q₂向容器内分流供给规定流量Q的处理气体。因此，在本发明中，在用于从具有流量控制装置(QCS)的气体供给设备(1)向容器供给规定流量Q的气体(G)的多条分支管线(GL₁、GL₂)上，分别设置开闭阀(OV₁、OV₂)，并使用在前述开闭阀(OV₁)的下游侧从(GL₁)分支的旁通管线(BL₁)、在开闭阀(OV₂)的下游侧从(GL₂)分支的(BL₂)、连接在旁通管线(BL₁)和旁通管线(BL₂)上的压力式分流控制器(FV)、测定分流供给管线(GL₁)内的压力的压力传感器(PS₁)、测定分流供给管线(GL₂)内的压力的压力传感器(PS₂)，通过分支供给管线(GL₁、GL₂)的末端固定的喷淋板(3、4)，以希望的分流流量Q₁、Q₂向容器(C)内分流供给总量Q＝Q₁+Q₂的气体。