空间光调制器、操作空间光调制器的方法及投影系统

摘要

公开了一种空间光调制器及其操作方法，以及投影系统，该调制器包括像素阵列，包括在可透光衬底上的多个微镜，每个微镜包括设置在该可透光衬底上的微镜板；第一制动机构，用于将所述微镜制动在处于接通位置的第一预定角度处；第二制动机构，用于将所述微镜制动在处于关闭位置的第二预定角度处；至少一个电极，用于在所述接通位置和所述关闭位置之间移动所述微镜；以及所述至少一个电极中的一个电极设置在该可透光衬底上。