一种X射线能谱联合测量谱仪及其实现方法

摘要

本发明公开了一种X射线能谱联合测量谱仪，用于在同一方位上联合晶体衍射方法和滤片堆栈方法测量X射线能谱，包括前后依次共轴安装于屏蔽外壳内的辐射屏蔽模块、晶体衍射测谱模块和滤片堆栈测谱模块，以及用于对中的瞄准组件。本发明联合了晶体衍射和滤片衰减两种测谱方法，解决了现有技术无法同时实现高精度和大量程的技术难题，在单一视角内实现了高精度大量程的能谱测量，可用于诊断激光X射线源、X光管射线源等从keV至MeV的能谱数据。本发明具有测谱范围大，能谱分辨高，抗碎片打击，抗等离子体喷溅，占用空间立体角小，应用范围广等优点。