法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-07-04
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/68 授权公告日:20090520 终止日期:20110427 申请日:20050427
专利权的终止
2009-05-20
授权
授权
2008-06-18
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-04-23
公开
公开
机译: 偏光单元,其制造方法,远程指示位置检测方法,远程位置指示装置,远程指示位置检测装置和指示装置
机译: 零件交接指示装置及零件交接指示方法
机译: 零件交接指示处理方法及零件交接指示装置