基于达菲光路的散斑干涉多参数测量系统及测量方法

摘要

本发明涉及一种基于达菲光路的散斑干涉多参数测量系统及测量方法，激光器发射的激光经过第一反射镜在第一分光棱镜中分束为透射光波和反射光波，透射光波经过光学粗糙参考表面后在第二反射镜中形成一束参考光波；反射光波沿着光轴方向照射至被测物体表面后被分成第一物光波和第二物光波，第一物光波、第二物光波各自产生错位并分别形成两束剪切物光波，这四束剪切物光波与一束参考光波同时通过第二分光棱镜后共同成像在单色CCD相机靶面上，形成耦合散斑干涉图像；本发明能够实现对被测物体的变形、应变等多参数信息的同步动态测量，不仅测量系统结构简单，而且测量方法容易。