公开/公告号CN113049995B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-21
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201911378596.8
申请日2019-12-27
分类号G01R33/028(20060101);
代理机构31451 上海泰博知识产权代理有限公司;
代理人钱文斌
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 12:58:36
机译: 结合了微机械转速和磁场传感器,具有可弹性偏转的悬浮振动结构,以及检测结构,用于检测由科里奥利力和洛伦兹力引起的振动结构的偏转
机译: 使用机械谐振器增强洛伦兹力磁力计灵敏度的设备和方法
机译: 使用机械谐振器增强洛伦兹力磁力计灵敏度的设备和方法