法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-06-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H04L 12/26 授权公告日:20090422 终止日期:20130420 申请日:20070420
专利权的终止
2009-04-22
授权
授权
2008-04-02
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-09-26
公开
公开
机译: 数据处理方法,制冷剂泄漏检测方法,系统故障检测方法和系统性能检测方法
机译: 数据处理方法,制冷剂泄漏检测方法,系统故障检测方法和系统性能检测方法
机译: 编码器型测量系统,光刻设备以及在编码器型测量系统的网格或网格上或网格中的误差的检测方法