带有偏置定子密封件的真空泵及制造其的方法

摘要

一种真空泵及制造其的方法，所述真空泵包括：两个半壳定子部件，其在纵向接触面处安装在一起并且限定一个或更多个泵送腔室；纵向密封件，其用于在所述泵送腔室的任一侧上在所述两个半壳定子的所述纵向接触面之间进行密封。所述纵向密封件安装在所述半壳定子中的至少一者中的相应沟槽内，所述相应沟槽在所述纵向密封件的至少一部分上比所述纵向密封件更宽、从而允许一些侧向移动。所述纵向密封件包括与纵向轴线偏离的偏离部，所述偏离部抵靠所述沟槽的一个表面邻接并且朝向所述沟槽的相对表面偏置所述纵向密封件的至少一部分，所述相对表面包括最靠近所述泵送腔室的表面。