法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-02-27
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01J 3/26 授权公告日:20090603 终止日期:20111231 申请日:20031231
专利权的终止
2009-06-03
授权
授权
2005-08-31
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-07-06
公开
公开
机译: 参考装置,光谱干涉型测定装置,涂布装置,用于确保光谱干涉型测定装置的测定精度的方法,以及涂膜的制造方法。
机译: 参考设备,光谱干涉型测量设备,涂层设备,光谱干涉型测量设备的测量精度保证方法以及涂膜制造方法
机译: 傅里叶变换光谱学中使用的米歇尔森型干涉仪输出信号的处理设备以及处理米歇尔森型干涉仪的输出信号的方法