一种基于衰荡腔的振动及气体温度浓度测量方法

摘要

本发明设计了一种基于衰荡腔的振动及气体温度浓度测量方法，所用元件包括：激光发生模块、光调制模块、光学衰荡腔、压电陶瓷和信号采集与处理模块等。首先，激光发生模块发出两束或两束以上中心波长不同的激光，根据衰荡腔的选频特性，改变腔长分时采集光强衰减信号，对不同波长的衰减系数求解进而求得气体浓度和温度。当压电陶瓷工作时，规律性改变腔长，快速采集信号；当压电陶瓷不工作时，利用随机机械振动导致的腔长改变，仍可进行信号采集，通过对信号的处理实现对气体浓度和温度及振动引起腔长的微小位移速度。本发明结构简单、操作方便、可靠性高且抗振性能好，可测参数多，在痕量气体测量领域有较高的使用价值和广阔的应用前景。