物体保持装置、处理装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法以及物体保持方法

摘要

基板台装置(20)具备：微动台(22)，保持基板(P)，且具有与包含X轴方向及Y轴方向的既定平面平行的上表面部(104)、以及在Z轴方向上与上表面部相向的下表面部(102)；以及X音圈马达(70X)，以在X轴方向及Y轴方向上与上表面部及下表面部重叠，且在Z轴方向上由上表面部及下表面部夹持的方式配置，并且驱动微动台。