旋转轴五自由度误差运动的精密测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种旋转轴五自由度误差运动的精密测量装置及方法，包括固定测头模块和主探测器模块，其中：固定测头模块包括圆台透镜；主探测器模块包括固定支架，固定支架内设有第一激光器和第一四象限位移探测器，第一激光器射出的激光与旋转轴轴线的夹角大于0°、小于90°，固定支架内还设有第二激光器、第二四象限位移探测器、第三激光器和第三四象限位移探测器。本发明采用的测量方法利用圆台透镜进行多次反射，精度更高，对于精度要求较高的旋转轴运动误差运动有很好的测量精度。本发明采用的材料和装置成本低于传统校准的仪器装备价格，在很大程度上节省了测量成本。