一种基于腔增强技术的气体在线检测装置

摘要

本发明公开了一种基于腔增强技术的气体在线检测装置，包括可调谐半导体激光器、光学腔、光电探测器、数据采集及处理系统、气体压缩腔、压力传感器、TEC半导体制冷器、微处理器以及显示屏等，本发明能够通过被测气体的体积压缩来增大被测气体的浓度，从而通过增大被测气体浓度的方法来补偿减少的激光吸收光程，当测出被压缩体积后密度增大的被测气体浓度时，通过体积换算，再将该浓度转换为实际密度的被测气体浓度，本发明相对于现有技术腔增强型TDLAS气体浓度检测装置，其配合腔增强型光学腔的检测精准度更高，且作为测量气室的光学腔不需要为实现更长的吸收光程而制造的更加精密，能够显著的降低气体检测装置的成本。