公开/公告号CN113111189B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-22
原文格式PDF
申请/专利权人 上海弘玑信息技术有限公司;
申请/专利号CN202110410345.4
申请日2021-04-16
分类号G06F16/36(20190101);G06F40/247(20200101);G06F40/295(20200101);G06Q10/06(20120101);G06Q50/06(20120101);
代理机构32346 江苏瑞途律师事务所;
代理人徐倩
地址 200232 上海市徐汇区凯滨路183号保利西岸中心B座801室
入库时间 2022-08-23 12:38:22
机译: 无线电网络评估方法,无线电网络评估系统,无线电网络监督装置,无线电网络评估程序以及记录有程序的介质
机译: 晶片平坦度评估方法,执行该评估方法的晶片平坦度评估装置,使用该评估方法的晶片制造方法,使用该评估方法的晶片质量保证方法,使用该评估方法的半导体器件制造方法以及使用通过评估的晶片的半导体器件制造方法评估方法
机译: 晶片平坦度评估方法及实施该评估方法的装置;使用评估方法的晶圆生产方法,使用评估方法的晶圆质量保证方法,使用评估方法的半导体器件生产方法以及使用评估方法评估的晶圆的半导体器件生产方法