凹陷缺陷的检测方法以及用于检测凹陷缺陷的晶圆

摘要

本发明提供一种凹陷缺陷的检测方法以及用于检测凹陷缺陷的晶圆，所述凹陷缺陷的检测方法包括：提供一晶圆，在所述晶圆上形成覆盖层，所述覆盖层的厚度在以上；去除所述覆盖层后，检测所述晶圆上的凹陷缺陷。本发明提供的凹陷缺陷的检测方法以及用于检测凹陷缺陷的晶圆中，通过在晶圆上形成覆盖层，使覆盖层的厚度在以上，在去除覆盖层时，可使得晶圆上具有的凹陷缺陷的尺寸增大，从而可方便的被晶圆检测设备检测出来，从而进行及时有效监控缺陷的发生，减少因此而造成的损失。