公开/公告号CN109100582B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-03
原文格式PDF
申请/专利号CN201710467267.5
申请日2017-06-20
分类号G01R31/00(20060101);
代理机构11271 北京安博达知识产权代理有限公司;
代理人徐国文
地址 100192 北京市海淀区清河小营东路15号
入库时间 2022-08-23 12:25:29
机译: 使用指示至少一种尖端到尖端的短路或泄漏,至少一种尖端到一侧的短路或泄漏,以及至少一侧到另一侧的短路或泄漏的非接触电测量来处理半导体晶片的方法,其中使用具有带束偏转功能的带电粒子束检查器从带尖端到尖端短,尖端到侧面短测试和侧面到侧面短测试区域的单元中获得此类测量结果阶段
机译: 用于对生物测试样本中的一种或多种目标类型的目标分子存在进行测试的缓冲液的测试系统;用于测试生物测试样品中一种或多种目标类型的目标分子的存在的测试系统;以及靶向分子以促进对生物测试样品的一种或多种靶类型的靶分子的存在的测试的方法。
机译: 使用指示至少一种尖端到尖端的短路或泄漏,至少一种通孔倒角或泄漏,以及至少一种拐角短路或泄漏的非接触电测量来处理半导体晶片的方法,其中获得了这些测量值使用带束偏转的带电粒子束检查器从具有相应的尖端到尖端短,通孔倒角短和拐角短测试区域的单元中进行位移