用于细胞分选与聚焦的介电泳微流控芯片及其免对准微加工方法

摘要

用于细胞分选与聚焦的介电泳微流控芯片及其免对准微加工方法，属于微流控芯片技术领域。包括基底层、一体化流道‑电极功能层、顶层。一体化流道‑电极功能层包括主体电极、由主电极延伸入主流道且垂直横跨主流道的叉指电极、主流道入口、主流道出口、主流道由叉指电极非均匀侧壁结构划分而成的并行分流道以及绝缘沟道。本发明通过多层电极构成具有非均匀侧壁的叉指电极来产生水平与竖直方向上的高效的介电泳力以提高分离纯度，同时可以实现细胞聚焦，并通过非均匀侧壁形成的并行流道提高通量；使用均一的导电聚合物一次性填充具有多层结构的SU‑8模具，通过倒模使得一体化流道‑电极结构一次成型。