绝对位置测量方法和绝对位置测量装置

摘要

提供了一种绝对X‑Y‑Θ位置传感器以测量精密多轴工作台系统的平面运动。通过分析2D相位编码二进制标尺(2D PEBS)的旋转的感兴趣区域的图像，分别在两个单独点处获得绝对位置值。可以通过将所述值组合来计算绝对X‑Y‑Θ位置。