一种基于一维光子晶体纳米束腔的双参数传感结构

摘要

本发明公开了一种基于一维光子晶体纳米束腔的双参数传感结构，属于光子晶体传感器技术领域，所述双参数传感结构是基于在三个并行排列的一维光子晶体纳米束波导上刻蚀呈周期排列的空气孔而形成的微腔结构进行设计的，由位于绝缘层上方三个并行排列的一维光子晶体纳米束腔构成，包括位于中间的带有宽带隙的纳米束微腔、位于一侧的空气模纳米腔和位于另一侧的介电模纳米腔。本发明制得的光子晶体纳米束传感器能够实现对折射率与温度的同时检测，通过分析计算得空气模纳米腔的折射率灵敏度和温度灵敏度分别为377.2nm/RIU和101pm/K；介电模纳米腔的折射率灵敏度和温度灵敏度分别为194nm/RIU和261pm/K。