光延迟线、实现该线的低相干干涉仪、实现该干涉仪的装置和测量方法

摘要

一种用于在干涉仪中使用的光延迟线(LR)，包括旋转多边形(29)。该多边形(29)布置成调制来自被称为测量光束的同一光束并穿过所述多边形(29)分别导向所述第一和第二反射器(21、22)的第一和第二光束(Li1、Li2)的相应光路，以便通过所述第一和第二光束(Li1、Li2)的光路之间的差产生光学延迟。在集成低干涉干涉仪的光学测量装置中的使用。