真空容器内压力多控制装置与真空容器内压力多控制方法

摘要

本发明的课题在于在将主阀和从动阀的集合体连接时，不进行统一的控制，而实现与处理装置的大小、内部的形态或顾客的要求形态相对应的主阀与从动阀的集合的连接，可快速地应对多样的要求。在主控制器和从动控制器的组合连接中设定操作模式，可向从与操作模式相对应的主控制器起依次多个串联的从动控制器，传递共同的已产生的阀打开度信号和各自的已产生的阀打开度信号，从动控制阀的打开度通过任意者的已产生的阀打开度信号而进行控制。