用于含钼或钨薄膜的ALD的前体的合成和用途

摘要

提供了用于形成例如MoS₂、WS₂、MoSe₂和WSe₂薄膜等含Mo和W薄膜的方法。还提供了用于合成Mo或Wβ‑二酮化物前体的方法。另外，提供了用于形成含有Mo或W的2D材料的方法。