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公开/公告号CN111180541B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-04
原文格式PDF
申请/专利权人 复旦大学;
申请/专利号CN202010007683.9
发明设计人 戴希远;胡斐;陆明;
申请日2020-01-05
分类号H01L31/047(20140101);H01L31/07(20120101);H01L31/0745(20120101);H01L31/18(20060101);
代理机构31200 上海正旦专利代理有限公司;
代理人陆飞;陆尤
地址 200433 上海市杨浦区邯郸路220号
入库时间 2022-08-23 11:53:56
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