一种基于Er、Zr共掺杂TiO2薄膜的电致发光器件及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于Er、Zr共掺杂TiO₂薄膜的电致发光器件及其制备方法，属于光电子技术领域。所述电致发光器件，包括硅衬底，硅衬底正面依次设有发光层、透明电极层，硅衬底背面设有欧姆接触电极，所述的发光层为Er、Zr共掺杂的TiO₂薄膜。本发明是基于Zr、Er共掺杂进TiO₂薄膜来实现Er相关电致发光的增强，Zr的掺杂并不改变TiO₂:Er薄膜晶体的锐钛矿晶型，并且Zr掺杂进一步扭曲Er³⁺离子周围的晶体场，从而增强Er相关的发光。