令向量
公开/公告号CN110132195B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-20
原文格式PDF
申请/专利权人 华中科技大学无锡研究院;
申请/专利号CN201910461858.0
申请日2019-05-30
分类号G01B21/00(20060101);
代理机构32104 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙);
代理人曹祖良;屠志力
地址 214174 江苏省无锡市惠山区堰新路329号
入库时间 2022-08-23 11:39:56
机译: 扫描探针显微镜的三维膜结构分析方法,三维膜结构分析仪和扫描探针显微镜的三维膜结构测量方法
机译: 非接触式扫描探针显微镜和扫描探针显微镜中悬臂振动振幅的测量方法
机译: 扫描物体的三维测量装置和三维测量装置的探针以及使用该装置的方法