基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法

摘要

本发明涉及基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法。使用峰值力轻敲模式(Peak Force Tapping mode)和扭转共振模式(Torsional Resonance mode)的复合模式来进行成像和样本物性测量及表征，利用峰值力轻敲模式控制针尖与样品之间的相互作用，在峰值力轻敲模式工作的同时利用转共振模式测量样品横向物理特性。本发明弥补了扭转共振模式对样品有特殊要求的缺陷，也解决了扭转共振模式下针尖与样品的垂直相互作用力大的问题。