同步辐射共聚焦荧光实验装置中共聚焦微元尺寸测量方法

摘要

本发明涉及一种同步辐射共聚焦荧光实验装置中共聚焦微元尺寸测量方法，其包括：将标样的铜系带表面与聚焦X射线的光路方向垂直；得到荧光信号强度与第一Y方向电机的位置的第一关系曲线；将标样的铜系带表面与聚焦X射线的光路方向平行；得到荧光信号强度与第一X方向电机的位置的第二关系曲线；将标样的铜系带表面朝上，使荧光信号以掠入射方式进入毛细管；得到荧光信号强度与第一Z方向电机的位置的第三关系曲线；将第一至第三关系曲线的半高宽作为共聚焦微元的尺寸。通过本发明可以直接对共聚焦微元进行测量，并且有效提高了微小共聚焦微元的测量精度。