高频放电激励气体激光振荡器

摘要

一种高频放电激励气体激光振荡器，其从脉冲指令控制的激光电源接受电功率供给，并具有电功率检测单元和脉冲指令控制单元，该电功率检测单元检测从激光电源对放电管的供给电功率，该脉冲指令控制单元位于激光电源的上流侧，比较根据放电管温度和供给电功率的关系求得的供给电功率的允许上限值与通过电功率检测单元检测到的实际的所述供给电功率，在供给电功率比允许上限值高时停止向放电管的脉冲指令值，根据允许上限值设定脉冲指令值。