公开/公告号CN109269408B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-02
原文格式PDF
申请/专利权人 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所;
申请/专利号CN201811179616.4
申请日2018-10-10
分类号G01B11/00(20060101);
代理机构61204 西北工业大学专利中心;
代理人刘新琼
地址 471099 河南省洛阳市凯旋西路25号
入库时间 2022-08-23 11:33:51
机译: 在真空处理室中冷却的靶板的安装方法以及靶板装置,靶板和真空室
机译: 可组装的靶板的冷却,磁体壳体,靶板的冷却方法以及磁控溅射装置
机译: 高能激光靶板装置