纳米孔隙形成方法、纳米孔隙形成装置以及生物分子测量装置

摘要

对薄膜施加第1调制电压，将在薄膜中流过的电流的相位相对第1调制电压的相位的变化量与阈值进行比较，在检测到相位的变化量超过阈值时停止施加第1调制电压，从而在薄膜中高速地形成纳米孔隙。