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公开/公告号CN105493242B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-02-09
原文格式PDF
申请/专利权人 英特尔公司;
申请/专利号CN201380079074.2
发明设计人 R·里奥斯;R·科特利尔;K·库恩;
申请日2013-09-26
分类号H01L21/28(20060101);H01L21/336(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人林金朝;王英
地址 美国加利福尼亚
入库时间 2022-08-23 11:31:25
机译: 在微电子器件中形成低带隙源极和漏极结构的方法
机译: 垂直晶体管,包括底部源极/漏极区域,栅极结构以及在底部源极/漏极区域和栅极结构之间形成的气隙
机译: 短沟道MOS晶体管的低带隙源极和漏极形成
机译:通过氢化-最后方法形成的金刚石MOSFET中的超浅TiC源极/漏极触点
机译:通过将Al和Hf引入SiO_2 / GeO_2栅叠层中来显着增强金属源极/漏极Ge p沟道金属氧化物半导体场效应晶体管中的低电场空穴迁移率
机译:高性能pMOSFET,具有高Ge分数应变的SiGe-异质结构沟道和通过选择B掺杂的SiGe CVD形成的超浅源极/漏极
机译:具有通过无掺杂工艺形成的金属源极/漏极结构的应变Ge纳米线pMOSFET中的高迁移率和低寄生电阻特性
机译:锗PMOS中的栅极间寄生电容最小化和源极-漏极泄漏评估。
机译:栅极长度与漏极-源极距离之比对AlGaN / AlN / GaN异质结构场效应晶体管中电子迁移率的影响
机译:具有低压差或源极跟随器模式的低于1 V,26μW,低输出阻抗的CmOs带隙基准
机译:评估低漏极Nuvistor振荡放大器三极管