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在微电子器件中形成低带隙源极和漏极结构的方法

摘要

描述了利用设置于源极/漏极结构中的位错来形成应变沟道器件的方法。那些方法/结构可以包括:在器件的衬底中形成源极/漏极区、以及在源极/漏极区中形成合金,其中合金包括将源极/漏极接触部与源极/漏极区之间的带隙减小到大体上为零的材料。本文中的实施例减小了器件的外部寄生电阻。

著录项

  • 公开/公告号CN105493242B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-02-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 英特尔公司;

    申请/专利号CN201380079074.2

  • 发明设计人 R·里奥斯;R·科特利尔;K·库恩;

    申请日2013-09-26

  • 分类号H01L21/28(20060101);H01L21/336(20060101);

  • 代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;

  • 代理人林金朝;王英

  • 地址 美国加利福尼亚

  • 入库时间 2022-08-23 11:31:25

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