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公开/公告号CN108206214B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-02-02
原文格式PDF
申请/专利权人 同济大学;
申请/专利号CN201611169169.5
发明设计人 张静;柯三黄;
申请日2016-12-16
分类号H01L29/772(20060101);H01L29/92(20060101);H01L29/06(20060101);H01L21/335(20060101);
代理机构31225 上海科盛知识产权代理有限公司;
代理人林君如
地址 200092 上海市杨浦区四平路1239号
入库时间 2022-08-23 11:30:55
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